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Electronic Gases - Sif4, Sih4, Si2h6, NF3, Wf6, HCl, Bcl3
Nov 24, 2016

       

Basic Info.

       
Constituent:C4f8 99.999%
       
Grade Standard:Electron Grade
       
Chemical Property:Non-Flammable Gas
       
Trademark:Shanghai Wechem Chemical
       
Transport Package:47L
       
Specification:99.999
       
Origin:China
       
HS Code:2903399090
       

Product Description

   
Halocarbon  C318 - (C4F8,Octafluorocyclobutane )
Description    
Octafluorocyclobutane is a non-flammable , colorless , odorless and tasteless gas . It is shipped as a liquefied gas under its own vapor pressure . 
    
Specifications    
Purity , %99.999.999 
Oxygen ≤80 ppmv≤1.0 ppmv 
Nitrogen≤300 ppmv≤3.0 ppmv 
Carbon Dioxide≤50ppmv≤0.5ppmv 
Carbon Monoxide≤30 ppmv≤0.5 ppmv 
Methane ≤30 ppmv≤0.5 ppmv 
Water ≤10 ppmv≤3.0 ppmv 
Other Organics ≤600 ppmv≤5.0 ppmv 
Acidity as HCL ≤1.0 ppmw≤0.1 ppmw 
    
Ship   
DOT Shipping Name Octafluorocyclobutane   
DOT Classification2.2  
DOT Label Non-flammable Gas   
UN Number UN 1976  
CAS No.115-25-3  
CGA/DISS/JIS660/716/W22-14L  
Shipped as Liquefied Gas  
    
Technical Information   
Cylinder State @ 21.1°C Liquid  
Flammable Limits In Air Non-flammable   
Auto Ignition Temperature (°C )-  
Molecular Weight (g/mol)200.03  
Specific gravity (air =1)7.33  
Critical Temperature ( °C )115.2  
Critical Pressure ( psig )   
    
Applications   
Perfluorocyclobutane (C4F8) is used in semiconductor manufacturing as plasma etching of silicon dioxide (SiO2) or silicon layers.